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    POLI-400Lcmp抛光机

    POLI-400Lcmp抛光机是4&6英寸小型化学机械抛光机 ,采用手动装片方式 ,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦力&温度终点监控系统,用于氧化物 、金属、STI 、SO...
    Description

    POLI-400Lcmp抛光机是4&6英寸小型化学机械抛光机 ,采用手动装片方式,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦力&温度终点监控系统,用于氧化物、金属 、STI 、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光,应用广泛 。

    POLI-400Lcmp抛光机性能参数.png

    POLI-400Lcmp抛光机特点.png








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