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    TSC-100/300S/200L CMP后清洗机

    TSC-100/300S/200L CMP后清洗机系列设备是晶圆CMP后的专用清洗设备 ,有单工位、转位式、连线式等不同结构,以适用不同应用场景 ,其中连线式设备加...
    Description

    TSC-100/300S/200L CMP后清洗机系列设备是晶圆CMP后的专用清洗设备,有单工位 、转位式 、连线式等不同结构,以适用不同应用场景 ,其中连线式设备加配全自动上下片系统。该系列设备配有漂洗 、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能 ,集成度高,占地面积小,湿进干出 ,适用于各类CMP后晶圆的清洗。

    TSC-100:300S:200L CMP后清洗机参数.png

    TSC-100:300S:200L CMP后清洗机特点.png








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